大型臭氧发生器气源洁净系统要求及配置
臭氧发生器主要是通过接液氧或经空压机抽取空气后冷干吸附过滤除油除尘提纯后高压放电产生臭氧。气源的干燥度与洁净度直径影响臭氧产量，气源中水汽会影响臭氧产量及机器寿命，露点低效果好。臭氧由氧气电解产生，气源中氧气含量高产生的臭氧浓度也高。臭氧发生器气源经螺杆空压机，冷冻干燥机、吸附式干燥机、油水分离器、空气过滤器、储气罐处理后气源合格的指标为：
a．含水量：要求气源露点低于-40℃；
b．含油量：要求含油量低于0.01mg/m3(21℃)，最好能低于0.003mg/m3(21℃)；
c．杂质颗粒度：要杂质颗粒小于1μm，最好能小于0.01μm；
d．温度：温度不高于25℃；
e．压力：要求有一定的压力，一般要求0.1MPa以上，以保证臭氧发生器稳定工作并满足后级臭氧气体输送及投加的需要。
3.1空气压缩机
空气压缩机采用全无油变频空压机，出气效率高、无需润滑油空气中不含油、噪音小，运行费用低。
3.2冷冻式干燥机
冷冻式干燥机是将饱和状况下的压缩空气降温冷凝除水，正常工作条件下可去除压缩空气中约80%的水分，气源可达到大气露点-40℃~-70℃左右，除水量大，能耗低，属于浅度除水，配合吸干满足臭氧放电要求。
3.3吸附式干燥机
采用了气体净化专用分子筛将饱和的压缩空气利用水分和空气分子体积之不同来过滤除压缩空气中的饱和水蒸汽，可轻易的将水分子吸附在分子筛颗粒内，再利用再生方法来还原分子筛，其压缩空气点将可轻易达到-40℃
3.4空气过滤器
一般采用分级的方式，包括主管道过滤、除油过滤、除尘过滤等，保证进入吸附式干燥机的气源含油量<0.01mg/m3，保证进入臭氧发生器的气源粉尘颗粒度小于0.01μm。
3.5油水分离器
通过安装油水分离器可以去除99%以上的液态水。空气压缩系统能达到更高效的运行，降低维护成本。
3.6储气罐
空压机之后安装储气罐，不仅能储存压缩空气，减少由于压缩机排气不连续产生的压力脉动，实现供气和用气的平衡，而且能降低压缩空气的温度，减少过过虑器和干燥剂的负荷。
